令和２年度 技術講習会

材料創製・加工技術で拓くマイクロ・ナノの世界

～新材料や微細加工法を創成し，MEMS,マイクロマシンを創造～

概要

　IoT時代のセンサやアクチュエータなどのデバイス実現のためには、小形化や機能の集積化に加え，要求される機能の多様化に伴い，様々なマイクロ・ナノ材料を，自在に加工するマイクロ・ナノプロセスが必要です。
本講演では，名古屋大学大学院工学研究科の秦 誠一 先生にオンラインにて，マイクロ・ナノ材料とそのプロセス技術について，詳しく解説していただき，そのプロセスでは，どのような微細加工技術が求められるかご講演いただきます。

(講習会参加案内より)

内容

  • 日時および会場
　　　　　令和２年１１月２日（月）１３：３０～１５：３０
　　　　　オンライン会場（WebEx Meetings）
  • 講師および講演内容
　　　　　名古屋大学大学院工学研究科　マイクロ・ナノ機械理工学専攻
　　　　　集積機械デバイス講座   マイクロ・ナノプロセス工学研究グループ   教授　秦　誠一 先生

　　　　・はじめに
　　　　・コンビナトリアル技術による新材料創成
　　　　・新しいマイクロ・ナノ加工技術
　　　　・おわりに