超精密インプロセス／オンマシン計測技術

超精密加工の基本は、超精密加工機を用 いて必要な寸法や形状精度で部品を作ることです。超精密加工品の品質保証及び精度向上のためには、超精密加工機の運動と超精密加工品の形状を対象とする超 精密計測が必要不可欠となります。また、加工能率の観点などから、計測をインプロセスあるいはオンマシンで行うことが望まれます。

  今 回は、この分野で著名な東北大学大学院工学研究科教授の高偉(Gao Wei)先生をお迎えして、ご講演をいただきます。高先生の最近のご研究には「マイクロレンズアレイ形状の加工機上評価」や「超精密切削工具切れ刃の3次 元形状測定」などがあり、オンマシン計測に関する多くの研究実績をお持ちです。ご講演では、多自由度の形状と運動を高精度、高速に計測できる最新の研究成果とともに、超精密加工品の加工現場におけるインプロセス／オンマシン計測の実例について、平易なご説明をいただく予定です。

（講習会参加案内より）

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