長野県精密加工技術研究会　第5回先端加工技術研究会

ナノ精度機械加工技術、Ｍ４プロセス技術について

概要

　今後のIT分野、高度医療分野、高エネルギービーム関連分野においては、超精密非球面光学レンズに代表される非球面加工が重要な技術となります。超精密非球面加工の難しさは、ナノオーダの表面粗さと高精度の輪郭形状が同時に要求される点にあります。
　この問題を解決する手法として、「超精密切削加工」、「超安定・超精密非球面研削加工システム」などのナノ精度機械加工技術について解説を戴きます。
　また一般にナノ加工は、リソグラフィ技術に代表される微細加工技術と超精密マイクロ機械加工技術の融合があってはじめて実現可能となります。厨川先生は、マイクロ機械加工（Micro／Meso Mechanical Manufacturing：Ｍ４プロセス）における新しい加工法を研究されており、その中から、マイクロ非球面研削・研磨、マイクロアブレイシブジェット加工、電気粘性流体援用マイクロ超音波加工などついて、ご講演を頂きます。

（講習会参加案内より）

内容および講師

日時 平成20年1月22日（火）　10:00〜14:30（昼食時間12:00〜13:00）
場所 工業技術総合センター精密・電子技術部門
内容 ナノ精度機械加工技術、Ｍ４プロセス技術について
講師 東北大学大学院 工学研究科 ナノメカニクス専攻
教授 厨川　常元 氏

講演内容




講演会風景

2007/1/22