長野県精密加工技術研究会　重点事業「工法転換に関する研究事業」第８回研究会

平成１6年(2004年)3月１5日（月）開催

講師： 姫路工業大学 高度産業科学技術研究所
　教授　松 井 真 二　氏

と 　き	平成１６年３月１５日（月）１３：３０〜１５：３０
と こ ろ	長 野 県 精 密 工 業 試 験 場
主　催	長野県精密加工技術研究会、(社)日本塑性加工学会　北関東・信越支部

---

１　概要

　毛髪上に乗った極小のワイングラスの電子顕微鏡写真をご覧になった方も多いと思います。ナノ・ワイングラスと呼ばれ、なんと外径は２．７５μｍ。 そしてその小ささにもかかわらず、造形が美しく精緻であることが驚異でした。この加工に用いられたのが集束イオンビーム技術です。

　集束イオンビーム（ＦＩＢ：Focused Ion Beam）は、ナノメートルオーダーの高分解能観察、除去加工、付加加工が行える次世代のナノ技術として注目 を集めています。さらなる超微細へ向かう今後の加工を追求していくために、 必ず知っておくべき技術です。

　そこでこのたびは、ナノ・ワイングラスや三次元ナノ配線などの様々な集束イオンビームに関するご研究で有名な姫路工業大学の松井真二先生を講師 にお迎えし、原理や特徴、現在までの成果、また微細金型作成等の今後の応 用など、加工の観点を中心にご講演をいただきます。

　様々な可能性を秘めた注目技術を知る格好の機会です。是非ご聴講下さい。

（「受講のおすすめ」より）

２　内容及び講師

３　講演内容

ご講演では、ＦＩＢによる加工（主に付加加工）及び、ナノインプリントについて、様々な事例を交えて貴重なお話しを頂戴した。

FIBの加工例（ナノトレック）